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KISが手がける半導体製造業向けソリューション

半導体受託生産の世界最大手、台湾積体電路製造(TSMC)の熊本進出により九州で「シリコンアイランド」復活に向けた動きが広がっています。

弊社株式会社KISは熊本に本社を構え、1970年から半導体製造業のシステム開発に携わり、半導体製造におけるすべての工程のシステム開発の実績を重ねてきました。

 半導体関連企業では、様々な工程が連携して行われており、これらの工程を効率的かつ正確に管理するためには、システムの導入が不可欠となります。

今回は半導体製造で使われているシステムとシステム化の重要性について紹介します。

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半導体工場のシステム


半導体製造は工程が長く、すべての工程で人の目には見えない微細な加工を設備で行います。

そのため複雑な製造管理が必要となり、多くのシステムが連携して使われています。

KISでは生産管理、ライン管理、購買、総務・経理といった多くの業務領域でシステム開発を行っています。

お客様の課題を発見し、解決のためのシステム設計・開発、リリース後の運用・保守までの全てのフェーズをカバーできる「ワンストップソリューション」を実現いたします。

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半導体製造におけるシステム化の重要性


半導体製造におけるシステム化がなぜ重要なのかをご紹介します。

高度な自動化と情報化

半導体製造は、高精度かつ複雑で多くの製造工程があります。

プロセスステップ数だけで、400800工程に及び工期は数カ月かかります。

各工程の状況をリアルタイムに把握し、適切に管理する必要があり、システムによる自動化が求められます。

多品種少量生産に対応

半導体市場は、顧客のニーズに合わせて多品種少量生産を行うことが求められています。

何千品種もの製品を生産するため、製品ごとに4M(Man:人、Machine:機械、Material:材料、Method:方法)の条件を一元管理・分析する必要があります。

そのため、半導体製造向けのシステムは柔軟性と拡張性が重要です。

競争力強化

半導体市場は、グローバルな競争が激化しています。

競争に勝つためには、生産計画の精度向上や工程の効率化・改善、品質の向上などにより、生産コストの削減や納期短縮かつ充実したサービスの提供が求められます。

特に品質面では、日本の半導体は車や医療機器など人々の命に関わる製品に使用されるほど高品質であり、他国と比べて優位に立っています。

この品質を維持しQCDSをさらに向上させるには、各工程の製造情報を迅速に収集、分析できるシステムを導入して、人手に頼った管理をできるだけ自動化することが重要です。

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各工程におけるシステムの特徴

前工程後工程のシステムでは重要なポイントが異なります。

前工程のポイント

前工程では、ウエハー上に微細な回路を階層状に形成します。

回路は人の目では見えないために高精度な自動計測装置で回路の特性(膜厚、長さ、電気特性など)をデータ収集します。

また、生産設備の稼働履歴、稼働状況、メンテナンス履歴、異常検知情報などをリアルタイムに監視するシステムが重要な役割を果たします。

このような製造実行管理システムの導入により、人、設備、製品、製造条件等を最適に維持管理し、品質の安定化と向上およびと生産目標の達成、納期遵守を実現しています。

後工程のポイント

後工程では、ウエハーから半導体を切り出し、ダイマウント、ワイヤーボンディング、モールディングと工程進捗に従って荷姿が変わっていくため、製品の識別単位も工程毎で変化していきます。

パッケージングが完了した製品は、電気特性や外観を最終検査して製品として完成させます。

そのため、製品の荷姿の変化に対応したトレーサビリティ機能と最終検査結果に対する前工程との相関分析をシームレスに行える生産管理システムやデータ分析システムが特に重要になります。

 

さいごに

KISは会社設立時から50年以上、難易度の高い(ミッションクリティカルな)システムをお客様と一緒になって悩み試行錯誤し、質の高いソリューションを提供してきました。

これまで培ってきたノウハウを基にお客様のニーズにマッチしたシステムをワンストップで提供いたします。

次回は、半導体製造システムの詳細について紹介していきます。

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